高純致密三氧化鎢是一種可以用于制備高純度超高致密度WO3靶材的原料。而WO3靶材是電子束蒸鍍法制備電致變色用三氧化鎢薄膜常用的蒸鍍物質。WO3薄膜是一種重要的功能材料，因其具有優良的電致變色性能而被用于電致變色系統中，如智能調光玻璃等。隨著調光玻璃的推廣，高純致密WO3的應用也將逐步增多。
選用WO3靶材作為蒸鍍物質是一種優化方案，雖然目前研究較多的是采用WO3粉末作為蒸鍍物質，但是采用粉末的形式通常是不合適的。但是，當前國內外卻鮮有對WO3靶材制備的報道。具有密度低、純度低等缺點的三氧化鎢粉末并不能滿足制備WO3靶材的條件，因此制備高純度高密度WO3靶材具有重要的意義。
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